港湾半导体

微纳加工

镀膜加工

什么是镀膜?

镀膜(薄膜沉积)是一种工艺过程,通过镀膜工艺过程在材料表面沉积一层薄膜,从而改变材料的性能或增加其功能。镀膜工艺广泛应用于材料科学、半导体制造、光学和电子器件制造等领域。

主要的镀膜工艺包括物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)等。

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镀膜材料

金属材料:
Ti (钛)、Al (铝)、Cr (铬)、Pt (铂)、Bi (铋)、Mo (钼)、W (钨)、Ta (钽)、Ni (镍)、Au (金)、Ag (银)、Sn (锡)、In (铟)、Ge (锗)等

化合物材料:
SiO2 (二氧化硅)、SiNx (硅氮化物)、ITO (氧化铟锡)、Al2O3 (氧化铝)、Ta2O5 (氧化钽)、TiO2 (二氧化钛)、AlN (氮化铝)、TaN (氮化钽)、ZnO (氧化锌)、HfO2 (二氧化铪)、ZrO2 (二氧化锆)、Si3N4 (硅氮化物)、PZT (铅锆钛酸盐)、ScAlN (钪铝氮化物)、AuSn (金锡)、TiAl (钛铝)、TiNi (钛镍)、TiW (钛钨)、TiN (氮化钛)、AuBe (金铍)、AuGeNi (金锗镍)等

镀膜技术

金属磁控、介质磁控、电子束蒸发、热蒸发、PECVD、LPCVD、ICPCVD、PVD、ALD原子层积

 

微纳加工

CVD(化学气相沉积)加工可实现高质量、均匀的薄膜沉积、满足不同行业和应用的特定需求、可控制的薄膜厚度和成分、适用于复杂结构的基材表面,并在高温条件下进行以提高反应速率和薄膜结晶度。

微纳加工

PVD(物理气相沉积)加工实现均匀且高质量的薄膜沉积、满足各行业特定需求、可控制薄膜厚度和成分、适用于复杂结构的基材表面,并且在较低的温度条件下进行,从而降低了基材热应力的风险。

微纳加工

ALD(原子层沉积)加工实现极其均匀和致密的薄膜沉积、满足各行业特定需求、提供超高精度的薄膜厚度和成分控制、适用于各种基材和复杂结构的表面,同时操作温度较低,有助于减少基材热应力的风险。
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把控质量,全权负责您的产品符合我们的标准制作

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