港湾半导体

镀膜加工

化学气相沉积(CVD)

什么是CVD?

CVD,即化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition),是一种重要的薄膜沉积技术,其由来可以追溯到20世纪早期。其发展历程主要与半导体工业的发展以及对新材料的需求密切相关。

随着材料科学和工程领域的不断发展,CVD技术也得到了广泛的应用,涉及到金属、氧化物、氮化物、碳化物等多种材料的沉积。同时,CVD技术也不断地得到改进和优化,从传统的热CVD、等离子体增强CVD(PECVD)到更先进的原子层沉积(ALD)等技术不断涌现,使得CVD在材料制备领域应用范围不断扩大,成为了现代材料制备的重要手段之一。

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我们的技术

PECVD

样品尺寸:8″及以下

均匀性:≤±5%

折射率:SiO2 1.45-1.5

               SiNx 1.9-2.1

 

ICPCVD

样品尺寸:8″及以下

均匀性:≤±5%

可生长工艺:SiO2、SiNx、

                      α – Si

 

LPCVD

样品尺寸:8“及以下

可生长工艺:Si3N4、

                      SiNx、Poly-Si

折射率:Si3N4:2.0±0.05

              SiNx:2.3±0.05

MPCVD

样品尺寸:2寸及以下

可生长工艺:金刚石和多晶

                      薄膜

我们的优势

领先技术

我们拥有先进的CVD技术,能够实现精确控制的气相沉积过程,确保产品具有卓越的性能和质量

多领域应用

我们的CVD解决方案适用于各种行业,包括半导体、光电子、材料科学等,为您的产品提供优异的涂层保护和功能性增强

定制化设计

我们的团队能够根据您的具体需求定制化设计涂层方案,确保满足您的技术和商业目标

质量保证

我们严格遵循国际标准和质量管理体系,保证每一批产品都符合高标准的质量要求

定制流程

1.沟通需求

选择您对衬底规格、沉积材料、镀膜厚度、工艺选择或者更多需求

2.方案报价

我们根据给您提供的最佳加工方案给出最合理的报价

3.生产及质量把控

把控质量,全权负责您的产品符合我们的标准制作

4.按期交货

按期一周内将产品交付到您手上

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