Warum Elektronenstrahl für die Vakuumverdampfung (EB-PVD)

Stoffverdampfung in einem Vakuum, aus der Sicht der Verdampfungsrate Klassifizierung, unterteilt in langsame Verdampfung und schnelle Verdampfung Prozess zwei Arten, auch bekannt als schwache Verdampfung und starke Verdampfung Prozess. Die Verdunstungsrate bezieht sich auf die Masse der Substanz, die pro Flächeneinheit und Zeiteinheit verdunstet. Stoff Verdampfungsrate in einem Vakuum, ist die Theorie vor allem durch die Verdampfung der Temperatur der Oberfläche und Sättigungsdampfdruck und andere physikalische Eigenschaften betroffen, aber in der Praxis, die Verdampfung muss umfassend berücksichtigt werden, einschließlich der Wärmeübertragung Prozess, der Diffusionsprozess der Substanz, den Prozess der Phasenübergang und andere Auswirkungen auf die Verdampfung.

Um die Substanz im Vakuum schnell verdampfen zu lassen, muss sie erhitzt werden, und es gibt viele verschiedene Erhitzungsmethoden, einschließlich Elektronenstrahl, Laserstrahl, Widerstandswärme, Magnetronsputtern und andere Methoden, die relativ weit verbreitet sind.Elektronenstrahlund Lasererwärmungsverfahren. Beide Verfahren haben die Vorteile einer hohen Energiedichte und eines kontrollierbaren Schmelzbereichs. Der E-Strahl ist einfacher zu entwickeln und zu realisieren als der Laserstrahl.

Zu den wichtigsten Anwendungstechnologien der Vakuumverdampfung gehören derzeit die Vakuumverdampfungs-Beschichtungstechnologie, die Vakuumverdampfungs-Metallurgie-Technologie, die Vakuumverdampfungs-Pulvertechnologie usw. Die Vakuumverdampfungsbehandlung von Abfällen gehört zur Anwendung der Vakuumverdampfungs-Metallurgie-Technologie. Die Verwendung der Vakuumverdampfungsmethode zur Herstellung einer Vielzahl von Dünnschichtmaterialien und Beschichtungen ist eine ausgereiftere Anwendung der Technologie. In einer Hochvakuumumgebung wird der wassergekühlte Tiegel mit dem Material erhitzt, um es zu verdampfen. Das verdampfte gasförmige Material diffundiert und kondensiert auf dem Substrat und bildet so eine Schicht aus mikro- oder nanoskaligen Dünnschichten. Diese Filme oder Beschichtungen haben meist optische, elektrische und andere funktionale Eigenschaften, und ihre Dicke liegt meist im Mikron- oder Nanometerbereich, und die Verdampfungsrate des Präparationsprozesses ist langsam, gehört zu den langsamen Verdampfungsprozessen, und die Menge der Verdampfung ist leicht zu kontrollieren.

Wenn das Metall auf eine bestimmte Temperatur erhitzt wird, erhalten die Elektronen auf seiner Oberfläche genügend Wärmeenergie, um die Bindungskraft der Metalloberfläche zu überwinden und sich so von der Metalloberfläche zu lösen und eine freie Elektronenwolke zu bilden. Diese freien Elektronen bewegen sich unter der Einwirkung elektrischer und magnetischer Felder in eine bestimmte Richtung und bilden einen Strom von Elektronenstrahlen.