Einfluss des Glühverfahrens auf die Platinbeständigkeit

2024-06-26

Im Bereich der hochpräzisen Temperaturmessung ersetzen Dünnschicht-Platinwiderstände aufgrund ihrer hohen Stabilität und Genauigkeit nach und nach die traditionellen drahtgewickelten Platinwiderstände. Der Glühprozess ist ein wichtiger Schritt zur Optimierung der Leistung von Platin-Dünnschichtwiderständen, und der Wärmewiderstand von Platin-Dünnschichten kann durch einen angemessenen Glühprozess erheblich verbessert werden.

Vorbereitung von Platinwiderständen

Das Verfahren zur Herstellung eines Platinwiderstands besteht in der Regel aus folgenden Schritten

Untergrundvorbereitung
Fotolithografie
Magnetronsputternde Abscheidung
Wiederaufbereitung
aufheizen(Glühen (Metallurgie))behandeln

Einfluss des Glühprozesses

Wärmestabilität

Durch die Glühbehandlung wird die thermische Stabilität der Folie verbessert, so dass sie sich in Hochtemperaturumgebungen beständiger verhält.
Durch Hochtemperaturglühen werden Spannungen aus der Folie entfernt und strukturelle Verformungen bei Temperaturänderungen verhindert.
Verbessert die Zuverlässigkeit und Lebensdauer von Sensoren in Umgebungen mit hohen Temperaturen.

Wärmeleitfähigkeit

Während des Glühvorgangs verbessern das Kornwachstum und die Verbesserung der kristallinen Qualität die Wärmeleitfähigkeit des Films.
Schichten mit großen Körnern und hoher Kristallinität haben eine bessere Wärmeleitfähigkeit und einen geringeren Wärmewiderstand.
Verbesserung der Reaktionsgeschwindigkeit und Genauigkeit des Sensors, so dass er Temperaturänderungen schneller wiedergeben kann.

Temperaturkoeffizient des Widerstands (TCR)

Durch die Glühbehandlung erhöht sich der Temperaturkoeffizient des Widerstands (TCR) des Platinfilms, wodurch der Widerstandswert empfindlicher auf Temperaturänderungen reagiert.
Ein hoher TCR-Wert trägt dazu bei, die Empfindlichkeit des Sensors gegenüber Temperaturänderungen zu erhöhen.
Durch die Verbesserung der Empfindlichkeit und Genauigkeit des Sensors lassen sich Temperaturänderungen genauer messen.

Stabilität des Widerstands

Durch das Ausglühen werden Defekte und Inhomogenitäten in der Schicht reduziert und die Widerstandsdrift verringert.
Die geglühte Filmstruktur ist stabiler und der Widerstandswert ist stabiler.
Verbessert die Stabilität und Zuverlässigkeit der Sensoren über lange Zeiträume hinweg und verringert den Wartungsbedarf.

Wie man den Glühprozess verbessern kann

Das Glühverfahren verbessert die Mikrostruktur und die Wärmebeständigkeit von Platinschichten durch Erhitzen und Halten erheblich.

Einfluss der Glühtemperatur auf die EigenschaftenZwischen 500 und 600°C: Je höher die Glühtemperatur, desto höher die Empfindlichkeit und desto besser die Linearität, die je nach Anwendungsumgebung angepasst werden kann.
Auswirkung der HaltezeitBei 500°C kann eine 60-minütige Haltezeit die Empfindlichkeit und Linearität deutlich verbessern. Längere Haltezeiten über 500°C führen jedoch zu einer Leistungsverschlechterung.
Einfluss der SubstratrauhigkeitHöhere Substratrauhigkeit (z. B. 230 nm) kann die Empfindlichkeit deutlich verbessern, muss aber in vernünftigen Grenzen gehalten werden, um die Kontinuität des Films nicht zu beeinträchtigen.

Wenn Sie Fragen haben oder weitere Informationen über den Glühprozess beim Platinieren benötigen, zögern Sie bitte nicht, uns zu kontaktieren. Wir sind bestrebt, unseren Kunden qualitativ hochwertige und leistungsstarke Lösungen zu bieten.

Wir bieten Magnetron-Sputter-Gießereidienstleistung nach Maßkönnen Sie gerne einen Kommentar hinterlassen.