PECVD versus Magnetron-Sputtern: Welche Technik ist besser für die Herstellung amorpher Silizium-Dünnschichten?
PECVD vs. Magnetronsputtern: Welche Technologie ist für die Herstellung amorpher Silizium-Dünnschichten besser geeignet? Die Forschung an Silizium-Dünnschicht-Solarzellen ist ein internationaler Hotspot auf dem Gebiet der Fotovoltaik.