Mikro-Nano-Verarbeitung
Beschichtungsprozess
Was ist eine Beschichtung?
Beschichtung (Dünnschichtabscheidung) ist ein Verfahren, bei dem eine dünne Schicht auf der Oberfläche eines Materials durch ein Beschichtungsverfahren abgeschieden wird, wodurch die Eigenschaften des Materials verändert oder seine Funktionalität erhöht wird. Das Beschichtungsverfahren findet breite Anwendung in den Bereichen Materialwissenschaft, Halbleiterherstellung, Optik und Elektronikherstellung.
Zu den wichtigsten Beschichtungsverfahren gehören die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und die Atomlagenabscheidung (ALD).
Beschichtungsmaterial
Metallische Werkstoffe:
Ti (Titan), Al (Aluminium), Cr (Chrom), Pt (Platin), Bi (Bismut), Mo (Molybdän), W (Wolfram), Ta (Tantal), Ni (Nickel), Au (Gold), Ag (Silber), Sn (Zinn), In (Indium), Ge (Germanium) und andere.
Zusammengesetzte Materialien:
SiO2 (Siliziumdioxid), SiNx (Siliziumnitrid), ITO (Indium-Zinn-Oxid), Al2O3 (Aluminiumoxid), Ta2O5 (Tantaloxid), TiO2 (Titandioxid), AlN (Aluminiumnitrid), TaN (Tantalnitrid), ZnO (Zinkoxid), HfO2 (Hafniumoxid), ZrO2 (Zirkoniumoxid), Si3N4 (Siliziumnitrid), PZT ( PbZT (Blei-Zirkonium-Titanat), ScAlN (Scandium-Aluminium-Nitrid), AuSn (Gold-Zinn), TiAl (Titan-Aluminium), TiNi (Titan-Nickel), TiW (Titan-Wolfram), TiN (Titan-Nitrid), AuBe (Gold-Beryllium), AuGeNi (Gold-Germanium-Nickel) und so weiter.
Beschichtungstechnologie
Metallmagnetron, dielektrisches Magnetron, Elektronenstrahlverdampfung, thermische Verdampfung, PECVD, LPCVD, ICPCVD, PVD, ALD-Atomlagenabscheidung
Mikro-Nano-Verarbeitung
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