Beschichtungsprozess
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
Was ist CVD?
CVD (Chemical Vapor Deposition) ist eine wichtige Technologie zur Abscheidung von Dünnschichten, deren Ursprünge bis ins frühe 20. Ihre Entwicklung ist eng mit der Entwicklung der Halbleiterindustrie und der Nachfrage nach neuen Materialien verbunden.
Mit der kontinuierlichen Entwicklung auf dem Gebiet der Materialwissenschaft und -technik hat die CVD-Technologie weite Verbreitung gefunden, wobei eine breite Palette von Materialien wie Metalle, Oxide, Nitride, Karbide usw. abgeschieden wird. Gleichzeitig wurde die CVD-Technologie kontinuierlich verbessert und optimiert, von der traditionellen thermischen CVD über die plasmaunterstützte CVD (PECVD) bis hin zur fortschrittlicheren Atomlagenabscheidung (ALD) und anderen Technologien, so dass sich die CVD im Bereich der Materialaufbereitung immer weiter ausbreitet und zu einem der wichtigsten Mittel der modernen Materialaufbereitung geworden ist.
Unsere Technologie
PECVD
Stichprobengröße: 8″ und darunter
Gleichmäßigkeit: ≤±5%
Brechungsindex: SiO2 1,45-1,5
SiNx 1,9-2,1
ICPCVD
Stichprobengröße: 8″ und darunter
Gleichmäßigkeit: ≤±5%
Züchtbare Verfahren: SiO2, SiNx,
α - Si
LPCVD
Probengröße: 8" und darunter
Züchtbares Verfahren: Si3N4,
SiNx, Poly-Si
Brechungsindex: Si3N4: 2,0±0,05
SiNx: 2,3±0,05
MPCVD
Probengröße: 2 Zoll und darunter
Züchtbare Verfahren: Diamant und polykristallin
membranen
Unsere Stärken
Spitzentechnologie
Unsere hochmoderne CVD-Technologie ermöglicht einen präzise gesteuerten Dampfphasenabscheidungsprozess, der hervorragende Leistung und Qualität gewährleistet.
Multidisziplinäre Anwendungen
Unsere CVD-Lösungen werden in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt, u. a. in der Halbleiterindustrie, der Optoelektronik und der Materialwissenschaft, um einen hervorragenden Beschichtungsschutz und eine Funktionsverbesserung Ihrer Produkte zu gewährleisten.
Individuelles Design
Unser Team ist in der Lage, eine Beschichtungslösung zu entwickeln, die Ihren spezifischen Anforderungen gerecht wird und sicherstellt, dass Ihre technischen und wirtschaftlichen Ziele erreicht werden.
Qualitätssicherung (QA)
Durch die strikte Einhaltung internationaler Normen und Qualitätsmanagementsysteme wird sichergestellt, dass jede Charge von Produkten hohen Qualitätsstandards entspricht.
1. der Kommunikationsbedarf
Wählen Sie Ihre Anforderungen in Bezug auf Substratgröße, Abscheidungsmaterial, Schichtdicke, Prozessoptionen und mehr.
2. das Programmangebot
Wir unterbreiten Ihnen das günstigste Angebot auf der Grundlage der besten Verarbeitungslösung, die wir Ihnen anbieten können.
3. die Produktion und die Qualitätskontrolle
4. pünktliche Lieferung
Das Produkt innerhalb einer Woche termingerecht an Sie liefern
Kontakt
Sagen Sie uns, was Sie brauchen, und wir werden es lösen
Wir werden uns so schnell wie möglich mit Ihnen in Verbindung setzen.
