Influencia del proceso de recocido en la resistencia del platino
En el campo de la medición de temperatura de alta precisión, las resistencias de platino de película delgada están sustituyendo gradualmente a las tradicionales resistencias de platino bobinadas, debido a su gran estabilidad y alta precisión. El proceso de recocido es un paso clave para optimizar el rendimiento de las resistencias de película fina de platino, y la resistencia térmica de las películas finas de platino puede mejorarse significativamente mediante un proceso de recocido razonable.
Preparación de resistencias de platino
El proceso de preparación de una resistencia de platino suele constar de los siguientes pasos:
- Preparación del sustrato
- Fotolitografía
- deposición por pulverización catódica
- reprocesar
- calentar(recocido (metalurgia))tratar con
Influencia del proceso de recocido
estabilidad térmica
- El tratamiento de recocido mejora la estabilidad térmica de la película, haciendo que se comporte de forma más consistente en entornos de alta temperatura.
- El recocido a alta temperatura elimina la tensión de la película y evita la deformación estructural durante los cambios de temperatura.
- Mejora la fiabilidad y la vida útil del sensor en entornos de alta temperatura.
conductividad térmica
- Durante el proceso de recocido, el crecimiento del grano y la mejora de la calidad cristalina aumentan la conductividad térmica de la película.
- Las películas con granos grandes y alta cristalinidad tienen mejor conductividad térmica y menor resistencia térmica.
- Mejorar la velocidad de respuesta y la precisión del sensor para que pueda reflejar más rápidamente los cambios de temperatura.
Coeficiente de resistencia a la temperatura (TCR)
- El tratamiento de recocido aumenta el coeficiente de resistencia a la temperatura (TCR) de la película de platino, haciendo que el valor de la resistencia sea más sensible a los cambios de temperatura.
- Un valor TCR elevado contribuye a aumentar la sensibilidad del sensor a los cambios de temperatura.
- La mejora de la sensibilidad y la precisión del sensor le permite medir los cambios de temperatura con mayor exactitud.
Resistencia Estabilidad
- El recocido reduce los defectos y las inhomogeneidades de la película y disminuye la deriva de la resistencia.
- La estructura de la película recocida es más estable y el valor de resistencia es más estable.
- Mejora la estabilidad y fiabilidad del sensor durante largos periodos de tiempo y reduce las necesidades de mantenimiento.
Cómo mejorar el proceso de recocido
El proceso de recocido mejora significativamente las características de microestructura y resistencia térmica de las películas de platino mediante tratamientos de calentamiento y mantenimiento.
- Efecto de la temperatura de recocido en las propiedades: Entre 500 y 600°C, cuanto mayor sea la temperatura de recocido, mayor será la sensibilidad y mejor la linealidad, que puede ajustarse en función del entorno real de aplicación.
- Efecto del tiempo de mantenimientoA 500°C, un tiempo de mantenimiento de 60 minutos puede mejorar significativamente la sensibilidad y la linealidad. Sin embargo, los tiempos de mantenimiento prolongados por encima de 500 °C provocarán una disminución del rendimiento.
- Influencia de la rugosidad del sustratoRugosidad del sustrato: Una mayor rugosidad del sustrato (por ejemplo, 230 nm) puede mejorar significativamente la sensibilidad, pero debe mantenerse dentro de límites razonables para no afectar a la continuidad de la película.
Si tiene alguna pregunta o necesita más información sobre el proceso de recocido durante el platinado, no dude en ponerse en contacto con nosotros. Nos comprometemos a ofrecer a nuestros clientes soluciones de alta calidad y alto rendimiento.
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