Proceso de sputtering magnetr丨nico para fabricar sensores de temperatura de platino.
En el campo de la ciencia y la tecnología modernas, los sensores de temperatura desempeñan un papel importante como dispositivos de medición clave en diversas industrias. Y los sensores de temperatura de platino se utilizan ampliamente en el control industrial, la automoción, la medicina, la investigación científica y otros campos debido a su alta precisión, estabilidad y fiabilidad. Entre ellos, el uso deProceso de sputtering por magnetrónEl platinado para la preparación de sensores de temperatura de platino tiene muchos efectos especiales.
Sensores de temperatura de platino
Un sensor de temperatura de platino, a menudo llamado detector de temperatura por resistencia (RTD) de platino, es un dispositivo de medición de temperatura muy preciso y estable. Utiliza la propiedad de que la resistencia del metal de platino cambia con la temperatura para medir con precisión la temperatura. Su estructura es la siguiente.
teoría
En el caso de las películas delgadas de platino, las diferentes dimensiones estructurales, como la anchura de la línea y el grosor de la película, pueden tener un efecto significativo en el valor de la resistencia de la unidad sensible de platino. La resistencia de las películas finas de platino es directamente proporcional a la longitud L e inversamente proporcional al área de la sección transversal S, laρdenota la resistividad de la resistencia de película; L denota la longitud total de la resistencia; W denota la anchura de la resistencia; d d denota el grosor de la resistencia; y S denota el área de la sección transversal de la resistencia.
Beneficios
- muy precisoSensores de temperatura de platino : Los sensores de temperatura de platino tienen una precisión de medición extremadamente alta, normalmente entre ±0,1°C y ±0,5°C, y son adecuados para aplicaciones que requieren un control de temperatura de alta precisión.
- alta estabilidadLas propiedades físicas y químicas del platino son muy estables, por lo que los sensores de temperatura de platino tienen una buena estabilidad en el uso a largo plazo y no son susceptibles al envejecimiento ni a la deriva.
- Amplio rango de medición: Los sensores de temperatura de platino funcionan en un amplio intervalo de temperaturas de -200°C a +850°C y se adaptan a una gran variedad de aplicaciones industriales y científicas.
- buena linealidadSensores de temperatura de platino : Los sensores de temperatura de platino tienen una buena relación lineal entre la resistencia y la temperatura, lo que facilita su calibración y cálculo.
- resistencia a la corrosiónEl platino tiene una excelente resistencia a la corrosión y es adecuado para su uso en entornos difíciles.
Proceso de preparación
- Preparación del sustrato
- Fotolitografía
- Deposición de películas de platino
- reprocesar
- calentar(recocido (metalurgia))tratar con
Uno de los procesos de deposición preferidos es el pulverización catódica por magnetrón; la preparación de sensores de temperatura de platino de película fina mediante pulverización catódica por magnetrón tiene las ventajas de una buena uniformidad de la película, una fuerte adherencia, una alta controlabilidad del proceso, deposición a baja temperatura, aplicabilidad a sustratos de formas complejas, protección medioambiental y seguridad, y una alta rentabilidad. Esto convierte al pulverizado por magnetrón en una tecnología ampliamente utilizada en la fabricación de sensores modernos de película fina, que puede satisfacer las necesidades de diversas aplicaciones y mejorar el rendimiento y la fiabilidad de los sensores.
Efecto del metalizado de platino por sputtering magnetrónico en los sensores de temperatura de platino
Optimización del rendimiento de los sensores
Mejorar la calidad de la películaEl proceso de pulverización catódica por magnetrón produce películas de platino homogéneas y de gran pureza, esenciales para mejorar el rendimiento de los sensores de temperatura de platino. La película homogénea garantiza un cambio lineal y preciso de la resistencia, lo que mejora la precisión y la estabilidad de las mediciones de temperatura.
Grosor de controlEl proceso de pulverización catódica por magnetrón permite controlar con precisión el grosor de la película de Pt, lo que repercute directamente en el tiempo de respuesta y la sensibilidad del sensor. Una película de Pt más fina mejora el tiempo de respuesta del sensor, mientras que una película de Pt más gruesa mejora la durabilidad y estabilidad del sensor.
calidad de la superficieEl sputtering por magnetrón produce una película de platino densa y lisa en la superficie del sustrato, lo que contribuye a la resistencia del sensor a la corrosión y el desgaste y prolonga su vida útil.
Mejora de la coherencia de la producción
Alta repetibilidadEl proceso de pulverización catódica por magnetrón presenta una buena reproducibilidad y garantiza una calidad y unas prestaciones constantes de los sensores de película fina de Pt de un lote a otro. Esto es esencial para la producción en serie y el control de calidad.
producción automatizadaEl equipo de pulverización catódica por magnetrón permite automatizar la producción, aumentando la productividad y reduciendo los costes, al tiempo que reduce el impacto de los factores humanos en la calidad del producto.
Microestructura y adherencia
Microestructura mejoradaEl proceso de pulverización catódica por magnetrón es capaz de generar películas finas de platino a temperaturas más bajas, lo que evita daños térmicos en el sustrato provocados por procesos a alta temperatura. Este proceso produce películas con buena estructura de grano y baja densidad de defectos, lo que mejora el rendimiento del sensor.
Mayor adherenciaEl proceso de pulverización catódica por magnetrón produce una película de platino con buena adherencia al sustrato, lo que impide que la película se despegue o se desprenda durante el uso. Esto es especialmente importante para la estabilidad y fiabilidad del sensor en entornos difíciles.
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