Por qué elegir el haz de electrones para evaporación en vacío (EB-PVD)

El proceso de evaporación de sustancias en el vacío, desde el punto de vista de la clasificación de la tasa de evaporación, se divide en proceso de evaporación lenta y proceso de evaporación rápida dos tipos, también conocidos como proceso de evaporación débil y proceso de evaporación fuerte. La velocidad de evaporación se refiere a la masa de la sustancia evaporada por unidad de superficie por unidad de tiempo. Tasa de evaporación de sustancias en el vacío, la teoría se ve afectada principalmente por la evaporación de la temperatura de la superficie y la presión de vapor de saturación y otras propiedades físicas, pero en la práctica, el proceso de evaporación debe ser considerado en su totalidad, incluyendo el proceso de transferencia de calor, el proceso de difusión de la sustancia, el proceso de la transición de fase y otros efectos sobre la evaporación.

En el vacío, para hacer que la sustancia se evapore rápidamente, es necesario calentar la sustancia, y hay muchos métodos de calentamiento diferentes, incluyendo el haz de electrones, haz láser, calor resistivo, pulverización catódica de magnetrón y otros métodos, que son relativamente ampliamente utilizados es elhaz de electronesy los métodos de calentamiento por láser. Ambos métodos presentan las ventajas de una alta densidad de energía y una zona de fusión controlable. El rayo eléctrico es más fácil de diseñar y realizar que el rayo láser.

En la actualidad, las tecnologías de aplicación más importantes de la evaporación al vacío incluyen la tecnología de revestimiento por evaporación al vacío, la tecnología de metalurgia por evaporación al vacío, la tecnología de polvo por evaporación al vacío, etc. El tratamiento de residuos por evaporación al vacío pertenece a la aplicación de la tecnología de metalurgia por evaporación al vacío. El uso del método de evaporación al vacío para preparar una variedad de materiales de película fina y recubrimientos ha sido una aplicación más madura de la tecnología. En un entorno de alto vacío, se calienta el crisol enfriado con agua en el material para que se evapore, el material gaseoso evaporado se difunde y se condensa en el sustrato, formando así una capa de películas finas a escala micrométrica o nanométrica. Estas películas o recubrimientos tienen en su mayoría propiedades ópticas, eléctricas y otras propiedades funcionales, y sus espesores son en su mayoría de micras o nanómetros, y la velocidad de evaporación del proceso de preparación es lenta, perteneciendo al proceso de evaporación lenta, y la cantidad de evaporación es fácil de controlar.

Cuando el metal se calienta a cierta temperatura, los electrones de su superficie obtienen suficiente energía térmica para superar la fuerza de enlace de la superficie metálica, separándose así de la superficie metálica para formar una nube de electrones libres. Estos electrones libres, bajo la acción de campos eléctricos y magnéticos, se desplazarán en una dirección determinada para formar una corriente de haces de electrones.