Différence entre LPCVD et PECVD
Différence entre LPCVD et PECVD En opérant à des températures élevées dans un environnement à basse pression, L
Fenêtre à couche mince en nitrure de silicium TEM
Fenêtres à couche mince en nitrure de silicium de haute qualité et haute performance, fabriquées à l'aide du processus de fabrication MEMS le plus avancé, avec une épaisseur de film de 10 à 200 nm.
Fiche technique
Fiche produit Fenêtres à couche mince en nitrure de silicium
Détails du produit
Unités de vente
10pcs/paquet
Taille de la puce
Diamètre 3 mm
Épaisseur des copeaux
100 μm, 200 μm
Épaisseur du film
10 nm, 20 nm, 30 nm, 50 nm, 75 nm, 100 nm
Taille de la fenêtre
0,1 x 0,1, 0,25 x 0,25, 0,5 x 0,5, 0,75 x 0,75, 1 x 1, 1 x 0,25, 1,5 x 0,1, 1,5 x 0,2
Nombre de fenêtres
1, 2, 9
Taille de l'ouverture
Pas de trous
Conditions de stress
<250MPa
Avantages des films de nitrure de silicium :
- Résistance aux acides et aux alcalins : les échantillons peuvent être manipulés et étudiés dans des conditions acides et alcalines.
- Résistance aux températures élevées : les films peuvent résister à des températures allant jusqu'à 1000°C
- Sans carbone, facile à nettoyer
- Une grande vision
- Prise en charge d'une large gamme de microscopes : par exemple TEM, SEM, FIB, EDX, Auger, XPS et AFM/SPM
Les avantages de nos produits :
- Films robustes de nitrure de silicium d'une épaisseur de 10, 20, 30, 50, 100 et 200 nm
- Spécification standard : entièrement compatible avec les supports TEM standard de 3,05 mm
- Disponible en épaisseur standard de 200 µm et en épaisseur plus fine de 100 µm.
- Des films de nitrure de silicium hydrophiles/hydrophobes sont disponibles sur demande.
- Film de nitrure de silicium propre et extrêmement plat
- Avec une résistance et une planéité élevées
- Faible stress
Nos films de support en nitrure de silicium sont fabriqués à l'aide des technologies de fabrication de semi-conducteurs et de MEMS les plus avancées. Les films de support en nitrure de silicium amorphe sont cultivés sur des tranches de silicium à l'épaisseur requise de 10, 20, 30, 50, 100 ou 200 nm.
La zone d'observation de l'échantillon est créée par la gravure d'une fenêtre dans le substrat de silicium, laissant un film de nitrure de silicium parfaitement lisse, flexible et chimiquement stable. Le cadre est fabriqué à partir d'un disque de silicium de 3 mm. Il convient parfaitement aux montages TEM standard. L'épaisseur standard du cadre en silicium est de 100µm/200µm, ce qui convient à la plupart des montages TEM.
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