ハーバー半導体

ナノインプリントステンシル - カラムアレイ
フォトニクスデバイス作製、ナノフィルター、表面増強ラマン分光法における、光学特性の変調と増強のための光伝搬と相互作用の制御への応用。
データシート
ナノインプリントステンシル製品シート

製品詳細

周期性有効面積最大エッチング深さ(シリコン/石英)カラム径モデル
200nmφ94 mm120nm/100nm90-120 nmP200H_D100
350nmφ50mm350nm/150nm120~170 nmP350H_D50
450nmφ94 mm450nm/200nm220~260 nmP450H_D100
600nmφ94 mm 450nm/200nm250~300 nmP600H_D100
750nm51x51 mm²450nm/200nm250~350 nmP750H_51x51
780nmφ50mm450nm/200nm250~350 nmP780H_D50
870nmφ94 mm550nm/250nm300~400 nmP870H_D100
1000nmφ94 mm600nm/300nm300~500 nmP1000H_D100
1500nm51x51 mm²600nm/300nm400~650 nmP1500H_51x51
1700nmφ94 mm800nm/400nm500~800 nmP1700H_D100
2000nmφ94 mm800nm/400nm600~1100 nmP2000H_D100
3000nmφ94 mm1000nm/400nm600~1400 nmP3000H_D100
3500nmφ94 mm1200nm/500nm600~1600 nmP3450H_D100
5200nmφ94 mm1200nm/500nm600~2000 nmP5200H_D100
周期性有効面積最大エッチング深さ(シリコン)カラム径モデル
200nm20×20 mm²90 nm110 nmP200H_20x20
350nm20×20 mm²260 nm130 nmP350H_20x20
400nm5x5 mm²100 nm140 nmP400H_D100
600nm20×20 mm²310 nm300 nmP600H_D100
750nm25x25 mm²260 nm325 nmP750H_D100
1000nm20×20 mm²470nm470nmP1000H_D100
1732nm20×20 mm²590 nm880 nmP1732H_D100
3000nm20×20 mm²5000 nm1400 nmP3000H_D100
3000nm20×20 mm²1200 nm1800nmP3000H_D100
250nm14x14 mm²150 nm136 nm(円錐形)P250H_D100
周期性有効面積最大エッチング深さ(シリコン/石英)カラム径モデル
125nmφ90mm90nm/60nm50~70nmP125S_D90
140nmφ80mm75nm/ -50~75nmP140S_D80
150nmφ90mm75nm/ -60~85nmP150S_D90
250nmφ94mm200nm/100nm110~130nmP250S_D90
280nmΦ80mm200nm/100nm120~150nmP280S_D80
300nmφ94mm200nm/100nm120~160nmP300S_D100
380nmφ94mm400nm/300nm160~220nmP380S_D100
400nmφ94mm300nm/100nm150~220nmP400S_D100
480nmφ94mm500nm/400nm200~270nmP480S_D100
500nmφ94mm400nm/150nm200~250nmP500S_D100
560nmΦ80mm400nm/150nm200~280nmP560S_D80
600nmφ94mm500nm/250nm200~300nmP600S_D100
760nmφ94mm700nm/600nm330~430nmP760S_D100
800nmφ94mm500nm/300nm200~400nmP800S_D100
周期性有効面積最大エッチング深さ(シリコン)カラム径モデル
125nm10x10 mm²95 nm54 nmP125S_10x10
125nm20×20 mm²95 nm74 nmP125S_20x20
150nm20×20 mm²135 nm62 nmP150S_20x20
150nm5x5 mm²110 nm80 nmP150S_5x5
250nm20×20 mm²200 nm115 nmP250S_20x20
300nm14x14 mm²170 nm145 nmP300S_D100
550nm20×20 mm²150nm/300nm300 nmP380S_D100
800nm20×20 mm²250 nm440nmP400S_D100

特徴・メリット

  1. 高解像度:当社のナノインプリントステンシルは優れた解像度を有しており、ナノスケールでの複雑なパターンを実現することができます。この高い解像度は、ナノスケール現象の研究やナノデバイスの作製に最適です。

  2. 高精度:当社のステンシル製造工程では、高度なナノファブリケーション技術により、高度な一貫性と精度を確保しています。この高い精度により、各ステンシルは信頼性が高く、再現性の高いパターン転写結果を提供することができます。

  3. 汎用性:当社のナノインプリントステンシルは、様々な用途に使用することができます。ナノトランジスタやナノワイヤーなどのナノエレクトロニクスデバイスの製造に使用できます。また、ナノグラティングやフォトニック結晶などのオプトエレクトロニクスデバイスの作製にも使用することができます。さらに、バイオチップやナノセンサーの製造など、バイオメディカル分野でも幅広い応用が可能です。

  4. 効率的:当社のナノインプリント孔版製造プロセスは、効率的でスケーラブルです。大量生産が可能で、大規模な製造ニーズに適しています。この高い効率性により、当社の製品は、産業界や学術界の研究において、第一の選択肢となっています。

  5. カスタマイズ:お客様のニーズに合わせて、カスタマイズされたナノエンボス用ステンシルを提供することができます。特定のグラフィックデザインであれ、特別な材料要件であれ、当社のチームはお客様に最適なソリューションを提供します。

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