ハーバー半導体

コーティング工程

化学気相成長法 (CVD)

CVDとは何か?

CVD(化学気相成長法)は重要な薄膜蒸着技術であり、その起源は20世紀初頭にまで遡ることができる。その発展は、半導体産業の発展と新素材の需要に密接に関係している。

材料科学と工学の分野における絶え間ない発展に伴い、CVD技術は広く使用されるようになり、金属、酸化物、窒化物、炭化物など、さまざまな材料の成膜が行われるようになりました。同時に、CVD技術は継続的に改良され、最適化され、伝統的な熱CVD、プラズマエンハンストCVD(PECVD)から、より高度な原子層堆積(ALD)および他の技術が出現し続け、材料調製の応用分野におけるCVDは拡大し続け、現代の材料調製の重要な手段の一つとなっています。

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テクノロジー

PECVD

サンプルサイズ:8インチ以下

均一性: ≤±5%

屈折率:SiO2 1.45-1.5

               SiNx 1.9-2.1

 

ICPCVD

サンプルサイズ:8インチ以下

均一性: ≤±5%

成長可能なプロセス:SiO2、SiNx、

                      α - Si

 

エルピーシーブイディー

サンプルサイズ:8インチ以下

成長可能なプロセス:Si3N4、

                      SiNx、ポリシリコン

屈折率:Si3N4:2.0±0.05

              SiNx: 2.3±0.05

MPCVD

サンプルサイズ:2インチ以下

成長可能なプロセス:ダイヤモンドと多結晶

                      膜

当社の強み

最先端技術

当社の最先端CVD技術は、精密に制御された気相成長プロセスを可能にし、優れた性能と品質を保証します。

多分野への応用

当社のCVDソリューションは、半導体、オプトエレクトロニクス、材料科学など、さまざまな業界で使用されており、お客様の製品に優れたコーティング保護と機能強化を提供しています。

カスタマイズデザイン

私たちのチームは、お客様の具体的なニーズに合わせてコーティング・ソリューションをカスタム設計し、お客様の技術的および商業的な目標が達成されるようにします。

品質保証(QA)

国際基準と品質管理システムを厳格に遵守することで、各バッチの製品が高水準の品質を満たすようにしています。

カスタマイゼーションプロセス

1.コミュニケーションの必要性

基板サイズ、蒸着材料、コーティング厚さ、プロセスオプションなど、お客様のニーズをお選びください。

2.プログラム提供

私たちが提供できる最善の処理ソリューションに基づき、最も合理的な提案を行います。

3.生産・品質管理

当社の生産基準を満たすための品質管理と、お客様の製品に対する全責任

4.予定通りの納品

予定通り1週間以内に製品をお届けします。

お問い合わせ

お客様のご要望をお聞かせいただければ、それを解決します

できるだけ早くご連絡いたします。

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