LPCVDとPECVDの違い
LPCVDとPECVDの違い 低圧環境下で高温で作動させることにより、L
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周期性 | 有効面積 | 最大エッチング深さ(シリコン/石英) | カラム径 | モデル |
200nm | φ94 mm | 120nm/100nm | 90-120 nm | P200H_D100 |
350nm | φ50mm | 350nm/150nm | 120~170 nm | P350H_D50 |
450nm | φ94 mm | 450nm/200nm | 220~260 nm | P450H_D100 |
600nm | φ94 mm | 450nm/200nm | 250~300 nm | P600H_D100 |
750nm | 51x51 mm² | 450nm/200nm | 250~350 nm | P750H_51x51 |
780nm | φ50mm | 450nm/200nm | 250~350 nm | P780H_D50 |
870nm | φ94 mm | 550nm/250nm | 300~400 nm | P870H_D100 |
1000nm | φ94 mm | 600nm/300nm | 300~500 nm | P1000H_D100 |
1500nm | 51x51 mm² | 600nm/300nm | 400~650 nm | P1500H_51x51 |
1700nm | φ94 mm | 800nm/400nm | 500~800 nm | P1700H_D100 |
2000nm | φ94 mm | 800nm/400nm | 600~1100 nm | P2000H_D100 |
3000nm | φ94 mm | 1000nm/400nm | 600~1400 nm | P3000H_D100 |
3500nm | φ94 mm | 1200nm/500nm | 600~1600 nm | P3450H_D100 |
5200nm | φ94 mm | 1200nm/500nm | 600~2000 nm | P5200H_D100 |
周期性 | 有効面積 | 最大エッチング深さ(シリコン) | カラム径 | モデル |
200nm | 20×20 mm² | 90 nm | 110 nm | P200H_20x20 |
350nm | 20×20 mm² | 260 nm | 130 nm | P350H_20x20 |
400nm | 5x5 mm² | 100 nm | 140 nm | P400H_D100 |
600nm | 20×20 mm² | 310 nm | 300 nm | P600H_D100 |
750nm | 25x25 mm² | 260 nm | 325 nm | P750H_D100 |
1000nm | 20×20 mm² | 470nm | 470nm | P1000H_D100 |
1732nm | 20×20 mm² | 590 nm | 880 nm | P1732H_D100 |
3000nm | 20×20 mm² | 5000 nm | 1400 nm | P3000H_D100 |
3000nm | 20×20 mm² | 1200 nm | 1800nm | P3000H_D100 |
250nm | 14x14 mm² | 150 nm | 136 nm(円錐形) | P250H_D100 |
周期性 | 有効面積 | 最大エッチング深さ(シリコン/石英) | カラム径 | モデル |
125nm | φ90mm | 90nm/60nm | 50~70nm | P125S_D90 |
140nm | φ80mm | 75nm/ - | 50~75nm | P140S_D80 |
150nm | φ90mm | 75nm/ - | 60~85nm | P150S_D90 |
250nm | φ94mm | 200nm/100nm | 110~130nm | P250S_D90 |
280nm | Φ80mm | 200nm/100nm | 120~150nm | P280S_D80 |
300nm | φ94mm | 200nm/100nm | 120~160nm | P300S_D100 |
380nm | φ94mm | 400nm/300nm | 160~220nm | P380S_D100 |
400nm | φ94mm | 300nm/100nm | 150~220nm | P400S_D100 |
480nm | φ94mm | 500nm/400nm | 200~270nm | P480S_D100 |
500nm | φ94mm | 400nm/150nm | 200~250nm | P500S_D100 |
560nm | Φ80mm | 400nm/150nm | 200~280nm | P560S_D80 |
600nm | φ94mm | 500nm/250nm | 200~300nm | P600S_D100 |
760nm | φ94mm | 700nm/600nm | 330~430nm | P760S_D100 |
800nm | φ94mm | 500nm/300nm | 200~400nm | P800S_D100 |
周期性 | 有効面積 | 最大エッチング深さ(シリコン) | カラム径 | モデル |
125nm | 10x10 mm² | 95 nm | 54 nm | P125S_10x10 |
125nm | 20×20 mm² | 95 nm | 74 nm | P125S_20x20 |
150nm | 20×20 mm² | 135 nm | 62 nm | P150S_20x20 |
150nm | 5x5 mm² | 110 nm | 80 nm | P150S_5x5 |
250nm | 20×20 mm² | 200 nm | 115 nm | P250S_20x20 |
300nm | 14x14 mm² | 170 nm | 145 nm | P300S_D100 |
550nm | 20×20 mm² | 150nm/300nm | 300 nm | P380S_D100 |
800nm | 20×20 mm² | 250 nm | 440nm | P400S_D100 |
特徴・メリット
高解像度:当社のナノインプリントステンシルは優れた解像度を有しており、ナノスケールでの複雑なパターンを実現することができます。この高い解像度は、ナノスケール現象の研究やナノデバイスの作製に最適です。
高精度:当社のステンシル製造工程では、高度なナノファブリケーション技術により、高度な一貫性と精度を確保しています。この高い精度により、各ステンシルは信頼性が高く、再現性の高いパターン転写結果を提供することができます。
汎用性:当社のナノインプリントステンシルは、様々な用途に使用することができます。ナノトランジスタやナノワイヤーなどのナノエレクトロニクスデバイスの製造に使用できます。また、ナノグラティングやフォトニック結晶などのオプトエレクトロニクスデバイスの作製にも使用することができます。さらに、バイオチップやナノセンサーの製造など、バイオメディカル分野でも幅広い応用が可能です。
効率的:当社のナノインプリント孔版製造プロセスは、効率的でスケーラブルです。大量生産が可能で、大規模な製造ニーズに適しています。この高い効率性により、当社の製品は、産業界や学術界の研究において、第一の選択肢となっています。
カスタマイズ:お客様のニーズに合わせて、カスタマイズされたナノエンボス用ステンシルを提供することができます。特定のグラフィックデザインであれ、特別な材料要件であれ、当社のチームはお客様に最適なソリューションを提供します。
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