백금 온도 센서 제작을 위한 마그네트론 스퍼터링 丨 공정

2024-06-20

현대 과학 기술 분야에서 온도 센서는 다양한 산업에서 핵심 측정 장치로서 중요한 역할을 합니다. 백금 온도 센서는 높은 정밀도, 안정성 및 신뢰성으로 인해 산업 제어, 자동차, 의료, 과학 연구 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 그중에서도마그네트론 스퍼터링 공정백금 온도 센서 제조를 위한 백금 도금에는 많은 특수 효과가 있습니다.

플래티넘 온도 센서

플래티넘 온도 센서는 흔히 플래티넘 저항 온도 감지기(RTD)라고 불리는 매우 정확하고 안정적인 온도 측정 장치입니다. 백금 금속이 온도에 따라 변하지 않는 특성을 이용해 온도를 정확하게 측정합니다. 구조는 다음과 같습니다.

이론

백금 박막의 경우 선폭 및 필름 두께와 같은 다양한 구조적 치수가 백금 감응 장치의 저항에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다. 박막 백금 저항은 길이 L에 정비례하고 단면적 S에 반비례합니다.ρ는 필름 저항의 저항을, L은 저항의 전체 길이를, W는 저항의 폭을, d는 저항의 두께를, S는 저항의 단면을 나타냅니다.

혜택

매우 정확한플래티넘 온도 센서는 일반적으로 ±0.1°C에서 ±0.5°C 사이로 측정 정확도가 매우 높으며 고정밀 온도 제어가 필요한 애플리케이션에 적합합니다.
높은 안정성백금의 물리적, 화학적 특성은 매우 안정적이므로 백금 온도 센서는 장기간 사용해도 안정성이 우수하고 노화나 드리프트에 영향을 받지 않습니다.
넓은 측정 범위플래티넘 온도 센서: -200°C ~ +850°C의 넓은 온도 범위에서 작동하며 다양한 산업 및 과학 애플리케이션에 적합합니다.
우수한 선형성플래티넘 온도 센서: 저항과 온도 사이의 선형 관계가 우수하여 보정 및 계산이 용이합니다.
내식성플래티넘은 내식성이 뛰어나 열악한 환경에서 사용하기에 적합합니다.

준비 과정

인쇄물 준비
포토리소그래피
백금 필름 증착
재처리
가열(어닐링(야금))거래

박막 백금 온도 센서의 마그네트론 스퍼터링 제조는 박막 균일성, 강한 접착력, 높은 공정 제어성, 저온 증착, 복잡한 형태의 기판에 대한 적용 가능성, 환경 보호 및 안전성, 높은 비용 효율성이라는 장점을 가지고 있어 증착 공정 중 하나로 선호되는 기술입니다. 따라서 마그네트론 스퍼터링은 다양한 애플리케이션의 요구를 충족하고 센서의 성능과 신뢰성을 향상시킬 수 있는 최신 박막 센서 제조에 널리 사용되는 기술입니다.