반도체 생산 및 분석에서 실리콘 질화물 박막 윈도우의 핵심 역할
실리콘 질화물 박막 창은 고유한 특성으로 인해 반도체 산업에서 중요한 부분이 되었습니다. 실리콘 질화물 박막 창은 생산에서 분석에 이르기까지 광범위한 응용 분야를 가지고 있으며 새로운 반도체 장치 및 재료 개발에 핵심적인 역할을 합니다.
반도체 생산 및 분석 분야 애플리케이션
반응물 모니터링
실리콘 질화물 박막 윈도우는 반응물 모니터링 윈도우로 사용할 수 있습니다. 반도체 생산에서 불안정한 공정은 칩의 품질과 수율에 영향을 미치기 때문에 제조 공정의 안정성은 매우 중요합니다. 따라서 반응물 농도 및 온도와 같은 파라미터를 실시간으로 모니터링하면 공정을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
실리콘 질화물 박막 윈도우의 높은 투과율과 뛰어난 화학적 불활성은 반응물 모니터링에 이상적입니다. 예를 들어, 화학 기상 증착(CVD) 공정에서 실리콘 질화물 박막 윈도우는 공정 안정성을 위해 전구체 가스 농도 및 반응 온도와 같은 파라미터를 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다.
표면 분석
실리콘 질화물 박막 윈도우는 표면 분석용 윈도우로 사용할 수 있습니다. 반도체 표면 분석은 반도체 산업에서 중요한 분야로 표면 조성 분석, 표면 형태 분석 및 표면 결함 분석이 포함됩니다.
예를 들어, 주사 전자 현미경(SEM)에서는 질화규소 박막 창을 샘플 홀더 창으로 사용하여 진공 환경에서 샘플을 건조하게 유지하여 샘플 표면 오염 및 산화를 방지하고 높은 투과율의 전자 빔을 제공하여 SEM 분석의 해상도와 신호 대 잡음비를 개선할 수 있습니다.
광학 분석
실리콘 질화물 박막 윈도우는 광학 분석용 윈도우로 사용할 수 있습니다. 반도체 생산에서 광학 분석은 반도체 재료와 소자의 성능과 품질을 확인하는 데 매우 중요합니다.
실리콘 질화물 박막 윈도우는 광학 현미경, 라만 분광기, 푸리에 변환 적외선 분광기 및 기타 광학 분석 기기에 사용할 수 있는 높은 투과율과 우수한 광학 특성을 제공합니다. 예를 들어 라만 분광학에서 실리콘 질화물 박막 윈도우는 시료의 고감도, 고해상도 분석을 위해 높은 투과율의 레이저 빔을 제공합니다.
온도 측정
반도체 제조에서 온도 측정은 매우 중요한데, 많은 공정 파라미터가 온도와 밀접한 관련이 있기 때문입니다. 예를 들어 증착 공정에서 증착 속도는 증착 온도와 관련이 있습니다. 또한 어닐링 및 베이킹 공정에서도 온도는 재료 특성 및 결정 품질에 영향을 미칩니다.
실리콘 질화물 박막 윈도우는 실리콘 질화물의 온도 감도 때문에 온도 센서의 일부로 사용할 수 있습니다. 반도체 생산에서 실리콘 질화물 박막 윈도우는 반사 온도 센서로 사용될 수 있습니다. 반사 온도 센서는 재료 표면에서 반사되는 빛의 강도를 측정하여 온도를 측정합니다. 재료 표면의 온도가 변하면 재료 표면의 반사율도 변하므로 반사율 측정의 변화로부터 온도 변화를 유추할 수 있습니다.실리콘 질화물 박막 윈도우를 반사 온도 센서로 사용하면 반도체 재료의 비접촉 온도 측정이 가능합니다. 또한 질화규소 박막 윈도우는 고온에 대한 내성이 뛰어나고 고온에서도 장시간 안정적으로 작동할 수 있어 고온에서의 온도 측정에 적합합니다.
적외선 분광 감지
적외선 분광법은 반도체 재료의 특성 분석 및 품질 관리에 사용할 수 있는 비파괴 검사 방법입니다. 적외선 분광법 검출에 질화규소 박막 윈도우를 적용하는 것은 주로 적외선 분광기의 광학 윈도우에 사용됩니다. 질화규소 필름의 높은 광 투과율과 화학적 불활성으로 인해 적외선 분광 분석에 탁월한 광학 창 소재가 됩니다. 적외선 분광법에서는 시료의 흡수 스펙트럼을 수집해야 하며 질화규소 박막 창은 시료의 적외선 스펙트럼을 분광기로 전송하여 시료의 적외선 스펙트럼 정보를 얻을 수 있습니다.
현장 반사율 분광학 모니터링
현장 반사율 분광법은 반도체 웨이퍼 표면의 박막층 성장을 현장에서 모니터링하는 기술로, 스펙트럼 특징을 분석하여 박막의 성장과 변화를 감지할 수 있습니다.
질화규소 박막 윈도우는 주로 웨이퍼 표면의 광학 윈도우로서 현장 반사 분광법 모니터링에 적용됩니다. 뛰어난 광 투과율과 화학적 안정성을 갖춘 실리콘 질화물 박막 윈도우는 현장 반사 분광법에서 선명한 스펙트럼 신호를 제공하여 반도체 웨이퍼 표면의 박막 층 성장을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다.
마이크로 및 나노 구조의 준비
마이크로 및 나노 구조 준비는 포토리소그래피 및 에칭을 통해 미크론 수준의 구조를 준비하는 기술로, 반도체 소자 준비에 사용할 수 있습니다. 미세 구조 준비에 실리콘 질화물 박막 윈도우를 적용하는 것은 주로 에칭 마스크로서 샘플 표면에서 포토레지스트로 광학 패턴을 전송한 다음 에칭하여 최종적으로 원하는 미세 구조를 형성하는 것입니다. 실리콘 질화물 박막 윈도우는 높은 광 투과율과 화학적 안정성을 가지며 다양한 유형의 포토레지스트 및 식각액을 사용한 식각 공정에 사용할 수 있습니다.
요약하면, 실리콘 질화물 박막 창은 반도체 생산 및 분석에서 광범위한 응용 시나리오를 가지고 있으며 준비, 특성화 및 품질 관리에 사용할 수 있습니다. 뛰어난 성능과 높은 신뢰성으로 반도체 생산 및 분석에 없어서는 안 될 재료입니다.
당사는 다음을 제공합니다. 질화규소 박막 윈도우/MEMS 맞춤형 서비스자세한 내용은 언제든지 메시지를 남겨 주세요.
관련 읽기
폴리 실리콘 필름 丨 폴리 실리콘 필름의 표면 특성에 영향을 미치는 다양한 요인
폴리 실리콘 필름 丨 폴리 실리콘 필름을 성장시키는 표면 특성에 영향을 미치는 다양한 요인
