LPCVD와 PECVD의 차이점
저압 환경에서 고온으로 작동함으로써 LPCVD와 PECVD의 차이점 L
1. 투명성: 순수 실리콘 박막 창은 빛 투과율이 높고 산란이 적은 매우 투명한 소재입니다. 따라서 광학 현미경, 태양 전지 및 광학 센서와 같이 높은 선명도를 필요로 하는 애플리케이션에 이상적입니다.
2. 높은 안정성: 순수 실리콘 필름 창은 매우 안정적이며 고온, 고습, 강산과 같은 열악한 환경에서도 견딜 수 있습니다. 따라서 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 기술과 같이 장기적인 안정성이 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.
3. 낮은 광 손실: 순수 실리콘 박막 창은 반사율과 흡수율이 낮기 때문에 빛 신호 손실을 줄일 수 있습니다. 따라서 광학 센서 및 광통신과 같이 고감도가 필요한 애플리케이션에 이상적입니다.
순수 실리콘 박막 창은 일반적으로 단결정 실리콘 웨이퍼로 만든 투명한 창 소재입니다. 광 투과율이 높고 기계적 안정성이 높아 과학 연구 및 산업 생산에 널리 사용됩니다.
실리콘 소재는 가시광선 영역에서 투과율이 우수하고 적외선 및 자외선 스펙트럼 범위에서 우수한 분산을 나타낼 수 있습니다. 실리콘 박막 창은 일반적으로 두께가 수 미크론에서 수십 미크론까지 다양하며 애플리케이션의 요구 사항에 맞게 맞춤화할 수 있습니다. 고압과 고온 환경을 견딜 수 있으므로 화학 반응, 고온 산화 및 용융 금속 가공에 널리 사용됩니다.
또한 순수 실리콘 박막 창은 자연 발광이 적고 자연 발열이 적어 정밀 광학 및 광전자 분야의 광범위한 응용 분야에서 사용되고 있습니다.
저압 환경에서 고온으로 작동함으로써 LPCVD와 PECVD의 차이점 L
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