LPCVD와 PECVD의 차이점
저압 환경에서 고온으로 작동함으로써 LPCVD와 PECVD의 차이점 L
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실리콘 질화물 필름의 장점:
제품의 장점:
천공된 실리콘 질화물 필름 창은 천공이 없는 일반 실리콘 질화물 필름 창에 비해 다음과 같은 장점이 있습니다:
향상된 재료 투과율: 천공된 질화규소 필름 창은 구멍이 필름에 빛이 흡수될 가능성을 줄여 투과율을 높여주기 때문에 높은 투과율이 필요한 광학 분석과 같은 애플리케이션에 더 적합합니다.
샘플링 속도 향상: 구멍이 뚫린 질화규소 필름 창이 시료 통기를 촉진하고 시료와 환경 사이의 격리를 줄여 데이터 수집에 걸리는 시간을 줄여줍니다. 따라서 빠른 통기 및 수집 속도가 요구되는 애플리케이션에서 이점을 제공합니다.
향상된 재료 안정성: 천공된 질화규소 박막 창은 잘 설계된 구조로 인해 재료의 내부 응력과 열팽창 계수를 줄이는 방식으로 제조되어 재료의 안정성과 신뢰성을 향상시킵니다.
내구성 향상: 천공된 질화규소 필름 창은 구조적으로 부식과 마모에 대한 내성을 향상하도록 설계되었습니다. 따라서 장시간 사용해야 하는 애플리케이션에서 유리합니다.
향상된 플럭스: 천공된 실리콘 질화물 필름 윈도우의 넓은 개방 영역으로 인해 플럭스가 향상됩니다. 따라서 높은 플럭스가 필요한 애플리케이션에서 유리합니다.
요약하면, 구멍이 있는 실리콘 질화물 박막 윈도우는 구멍이 없는 일반 실리콘 질화물 박막 윈도우보다 광학적 특성 측면에서 더 나은 성능을 발휘합니다. 이러한 이유로 천공된 실리콘 질화물 박막 윈도우는 종종 재료 특성화 응용 분야에서 선호되는 선택입니다.
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