전자빔 증착 코팅(EB-PVD) 공정 및 장점

높은 증착률

• 고효율: 전자빔의 높은 에너지 밀도와 타겟의 빠른 증발로 대면적 및 후막 증착에 적합한 높은 증착 속도를 달성할 수 있습니다.

고순도 필름

• 진공 환경: 고진공 환경에서 증착이 이루어지므로 불순물과 오염을 효과적으로 줄이고 높은 필름 순도를 보장합니다.
• 순수한 소재 소스: 고순도 타겟을 사용하면 필름의 순도와 품질이 더욱 향상됩니다.

정밀한 제어

• 두께 및 구성: 전자빔 출력, 스캐닝 속도 및 기판 온도를 조정하여 필름의 두께와 구성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
• 균일성: 전자빔 스캐닝 기술은 기판 표면에 균일한 증착을 가능하게 하여 일관된 필름 두께를 보장합니다.

다양한 소재에 적합

• 다양한 타겟: EB-PVD 기술은 금속, 합금, 산화물, 탄화물, 질화물 등 다양한 재료를 처리할 수 있으며 적응성이 뛰어납니다.
• 복합 재료: 복합 재료의 증착은 공증착 또는 다중 소스 증착을 통해 특수한 특성을 가진 박막을 준비할 수 있습니다.

고품질 필름

• 고밀도화: 증착된 필름은 기계적 특성과 내구성이 뛰어난 조밀하고 비다공성 구조를 가집니다.
• 강력한 접착력: 높은 응력과 고온 환경에서 필름과 피착재 사이의 강력한 접착력을 제공합니다.

고온 증착 기능

• 고온 내성: EB-PVD는 고온 환경에서도 증착이 가능하며 열 차단 코팅(TBC)과 같은 고온 내성 재료의 제조에 적합합니다.
• 고온 안정성: 증착된 필름은 고온에서 안정성이 우수하고 산화나 분해가 쉽지 않습니다.

낮은 손상

• 기판 보호: 전자빔 가열이 주로 대상 물질에 집중되기 때문에 기판에 대한 열 영향이 적고 열에 민감한 물질의 박막 증착에 적합합니다.

프로세스 유연성

• 조정 가능한 공정 매개변수: 전자빔 출력, 스캐닝 모드, 기판 온도 및 기타 공정 매개변수를 다양한 애플리케이션 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
• 다양한 응용 분야: 다양한 기능 및 성능 요구 사항을 충족하기 위해 다층 및 그라데이션 필름 증착을 구현할 수 있습니다.

환경 및 경제

• 환경 친화적: 고진공 환경은 유해 가스의 사용과 배출을 줄이고 상대적으로 환경 친화적입니다.
• 비용 효율성: 장비에 대한 초기 투자 비용은 높지만 증착 공정의 높은 효율성과 품질로 장기적인 사용 비용을 절감할 수 있습니다.