과학 가이드: 실리콘 질화물 박막 윈도우의 소개, 특성 및 적용 시나리오
실리콘 질화물 박막 윈도우는 투과 전자 현미경에 흔히 사용되는 소모품으로, 연구자들이 시료의 미세 구조와 특성을 고해상도로 관찰할 수 있게 해줍니다. 이 글에서는 질화규소 박막 윈도우의 기본 개념과 그 특성의 장점, 적용 분야를 소개합니다.
실리콘 질화물 박막 창이란 무엇인가요?
질화규소(Si3N4)는 고강도, 고경도, 높은 내열성, 높은 내식성, 낮은 열팽창 계수를 가진 무기 비금속 소재입니다. 질화규소는 화학 기상 증착(CVD) 또는 물리적 기상 증착(PVD)과 같은 방법으로 기판 위에 균일하고 조밀한 필름으로 형성할 수 있습니다. 이러한 필름은 소위 실리콘 질화물 박막 창이라고 불리는 투과 전자 현미경(TEM)의 샘플 지원 플랫폼으로 사용할 수 있습니다.
실리콘 질화물 박막 창은 일반적으로 표준 직경 3mm의 기판 프레임과 가운데에 개구부가 있는 실리콘 질화물 층으로 구성됩니다. 개구부의 크기와 모양은 실험 요건에 따라 정사각형 또는 원형으로 조정할 수 있으며, 크기는 수백 나노미터에서 수 밀리미터까지 다양합니다. 실리콘 질화물 층의 두께도 실험 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으며, 일반적으로 10nm에서 500nm까지 다양합니다. 이를 통해 연구자는 샘플을 구멍에 넣고 전자 빔을 사용하여 샘플을 투과하고 상호 작용하여 샘플에 대한 이미지와 정보를 얻을 수 있습니다.
실리콘 질화물 박막 윈도우의 특성
실리콘 질화물 박막 창은 박막 증착 기술로 제조되며 다음과 같은 7가지 주요 특성을 가지고 있습니다.
높은 투명성:질화규소 필름의 굴절률은 공기의 약 1/3로 매우 낮아 반사 손실을 줄이고 투과율을 높여 광학 시스템의 효율을 높입니다.
기계적 강도가 우수합니다:질화규소 필름 소재는 기계적 강도가 우수하고 고압, 고온, 강산과 같은 극한 환경에서도 견딜 수 있습니다.
내식성:박막 실리콘 질화물 소재는 강산, 알칼리, 고온과 같은 극한 환경에서도 안정적인 물리적, 화학적 특성을 유지할 수 있으며 부식 및 산화에 덜 민감하여 광학 시스템의 안정성과 수명을 보장합니다.
높은 내열성:실리콘 질화물 박막 윈도우는 고온(1000°C) 환경에서도 안정적인 물리적 및 화학적 특성을 유지할 수 있어 고온 환경의 광학 시스템 및 애플리케이션에 적합합니다.
높은 수준의 평탄도:표면 평탄도가 높기 때문에 샘플을 더 잘 지지할 수 있는 플랫폼을 제공하고 창에 샘플이 더 안정적이고 균일하게 분포됩니다.
세탁 가능성:시료 잔류물과 오염 물질을 제거하기 위해 용매 세척 및 플라즈마 세척과 같은 다양한 세척 방법을 수행할 수 있습니다.
다양성:다양한 실험 요구 사항과 응용 시나리오에 맞게 다양한 크기, 두께, 표면 마감 및 조리개 크기를 선택할 수 있습니다.
실리콘 질화물 박막 창 적용 시나리오
결론적으로, 실리콘 질화물 박막 창은 다음과 같은 분야에서 탁월한 관찰 수단입니다. 재료 과학(심층 지식) , , 생물 과학(심층 지식) , , 반도체 생산 및 분석(심층 지식), ,광학 등의 분야에서 광범위하게 응용되고 있습니다. 높은 안정성과 낮은 결함률 덕분에 실리콘 질화물 박막 창은 향후 연구와 실무에서 더욱 중요한 역할을 할 것입니다!
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