LPCVD和PECVD的区别
LPCVD和PECVD的区别 通过在低压环境下的高温操作,L
周期 | 有效面积 | 最大刻蚀深度(硅/石英) | 孔直径 | 型号 |
200nm | φ 94 mm | 120nm/100nm | 90-120 nm | H200H_D100 |
350nm | φ 94 mm | 200nm/100nm | 120-170 nm | H350H_D100 |
450nm | φ 50 mm | 350nm/150nm | 220-260 nm | H450H_D50 |
500nm | φ 94 mm | 500nm/300nm | 250-300 nm | H500H_D100 |
600nm | φ 94 mm | 450nm/200nm | 250-300 nm | H600H_D100 |
750nm | 51x51 mm² | 450nm/200nm | 250-350 nm | H750H_51x51 |
780nm | φ 50 mm | 450nm/200nm | 250-380 nm | H780H_D50 |
870nm | φ 94 mm | 550nm/250nm | 300-45 nm | H870H_D100 |
1000nm | φ 94 mm | 600nm/300nm | 300~500 nm | H1000H_D100 |
1500nm | 51x51 mm² | 600nm/300nm | 400~650 nm | H1500H_51x51 |
1700nm | φ 94 mm | 800nm/400nm | 500~800 nm | H1700H_D100 |
2000nm | φ 94 mm | 800nm/400nm | 600~1100 nm | H2000H_D100 |
3000nm | φ 94 mm | 1000nm/400nm | 600~1400 nm | H3000H_D100 |
3500nm | φ 94 mm | 1200nm/500nm | 800~1600 nm | H3500H_D100 |
5200nm | φ 94 mm | 1200nm/500nm | 1200~2400 nm | H5200H_D100 |
周期 | 有效面积 | 最大刻蚀深度(硅) | 孔直径 | 型号 |
200nm | 20x20 mm² | 200 nm | 100 nm | H200H_20x20 |
345nm | 20x20 mm² | 200 nm | 227 nm | H345H_20x20 |
500nm | 0.2x0.2 mm²(9x) | 110 nm | 50 nm | H500H_02x02 |
600nm | 20x20 mm² | 300 nm | 300 nm | H600H_25x25 |
750nm | 25x25 mm² | 420 nm | 380 nm | H750H_25x25 |
1000nm | 0.2x0.2 mm²(9x) | 110 nm | 100 nm | H1000H_02x02 |
1010nm | 15x15 mm² | 300 nm | 390 nm | H1010H_15x15 |
1010nm | 25x25 mm² | 300 nm | 490 nm | H1010H_25x25 |
1010nm | 25x25 mm² | 350 nm | 470 nm | H1010H_25x25 |
2000nm | 0.2x0.2 mm²(9x) | 110 nm | 200 nm | H2000H_02x02 |
3000nm | 20x20 mm² | 850 nm | 1500 nm | H3000H_20x20 |
3000nm | 20x20 mm² | 1500 nm | 1200 nm | H3000H_20x20 |
周期 | 有效面积 | 最大刻蚀深度(硅/石英) | 孔直径 | 型号 |
125nm | φ 90mm | 150nm/100nm | 50~70 nm | H125S_D90 |
125nm | 20x20 mm² | 90nm/— | 65 nm | H125S_20x20 |
140nm | Φ 80mm | 150nm/100nm | 60~80 nm | H140S_D80 |
150nm | φ 90mm | 150nm/100nm | 60~90 nm | H150S_D90 |
150nm | 5x5 mm² | 100nm/— | 65 nm | H150S_5x5 |
190nm | φ 94mm | 180nm/140nm | 85~115 nm | H190S_D100 |
200nm | φ 90mm | 200nm/150nm | 70~120 nm | H200S_D90 |
200nm | 5x5 mm² | 110nm/— | 70 nm | H200S_5x5 |
235nm | φ 94mm | 200nm/150nm | 100~135 nm | H235S_D100 |
250nm | 5x5 mm² | 110nm/— | 70 nm | H250S_5x5 |
300nm | φ 90mm | 200nm/150nm | 120~180 nm | H300S_D90 |
350nm | φ 94mm | 300nm/150nm | 240~280 nm | H350S_D100 |
350nm | 20x20 mm² | 300nm/— | 250 nm | H350S_20x20 |
375nm | φ 94mm | 200nm/100nm | 150~250 nm | H375S_D100 |
特点和优势:
高分辨率:我们的纳米压印模板具有出色的分辨率能力,可以在纳米尺度上实现复杂的图案。这种高分辨率的特性使得它成为研究纳米尺度现象和制造纳米器件的理想选择。
高精度:我们的模板制造过程采用先进的纳米加工技术,确保了高度一致性和精度。这种高精度保证了每个模板都能提供可靠且重复性的图案转移效果。
多功能性:我们的纳米压印模板可用于各种应用领域。它可以用于制造纳米电子器件,如纳米晶体管和纳米线路。它还可用于光电子器件的制造,如纳米光栅和光子晶体。此外,它在生物医学领域的应用也非常广泛,例如制造生物芯片和纳米传感器。
高效性:我们的纳米压印模板制造过程高效且可扩展。它可以批量生产,适用于大规模制造需求。这种高效性使得我们的产品成为工业界和学术界研究的首选。
定制化:我们可以根据客户的需求提供定制化的纳米压印模板。无论是特定的图案设计还是特殊的材料要求,我们的团队都可以为您量身定制最佳解决方案。
纳米压印模板中的六边形孔阵列和矩形孔阵列是两种常见的孔状结构模式,用于实现精确的纳米级图案转移和制备。
这两种孔阵列模板在纳米压印过程中具有高度的制备一致性和可重复性,能够满足精密纳米结构制备的需求。它们为纳米制造、纳米器件研究和生物医学应用等领域提供了重要的工具和解决方案。
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