LPCVD和PECVD的区别
LPCVD和PECVD的区别 通过在低压环境下的高温操作,L
周期 | 有效面积 | 最大刻蚀深度(硅/石英) | 柱直径 | 型号 |
200nm | φ94 mm | 120nm/100nm | 90~120 nm | P200H_D100 |
350nm | φ50 mm | 350nm/150nm | 120~170 nm | P350H_D50 |
450nm | φ94 mm | 450nm/200nm | 220~260 nm | P450H_D100 |
600nm | φ94 mm | 450nm/200nm | 250~300 nm | P600H_D100 |
750nm | 51x51 mm² | 450nm/200nm | 250~350 nm | P750H_51x51 |
780nm | φ50 mm | 450nm/200nm | 250~350 nm | P780H_D50 |
870nm | φ94 mm | 550nm/250nm | 300~400 nm | P870H_D100 |
1000nm | φ94 mm | 600nm/300nm | 300~500 nm | P1000H_D100 |
1500nm | 51x51 mm² | 600nm/300nm | 400~650 nm | P1500H_51x51 |
1700nm | φ94 mm | 800nm/400nm | 500~800 nm | P1700H_D100 |
2000nm | φ94 mm | 800nm/400nm | 600~1100 nm | P2000H_D100 |
3000nm | φ94 mm | 1000nm/400nm | 600~1400 nm | P3000H_D100 |
3500nm | φ94 mm | 1200nm/500nm | 600~1600 nm | P3450H_D100 |
5200nm | φ94 mm | 1200nm/500nm | 600~2000 nm | P5200H_D100 |
周期 | 有效面积 | 最大刻蚀深度(硅) | 柱直径 | 型号 |
200nm | 20x20 mm² | 90 nm | 110 nm | P200H_20x20 |
350nm | 20x20 mm² | 260 nm | 130 nm | P350H_20x20 |
400nm | 5x5 mm² | 100 nm | 140 nm | P400H_D100 |
600nm | 20x20 mm² | 310 nm | 300 nm | P600H_D100 |
750nm | 25x25 mm² | 260 nm | 325 nm | P750H_D100 |
1000nm | 20x20 mm² | 470 nm | 470 nm | P1000H_D100 |
1732nm | 20x20 mm² | 590 nm | 880 nm | P1732H_D100 |
3000nm | 20x20 mm² | 5000 nm | 1400 nm | P3000H_D100 |
3000nm | 20x20 mm² | 1200 nm | 1800 nm | P3000H_D100 |
250nm | 14x14 mm² | 150 nm | 136 nm(锥形) | P250H_D100 |
周期 | 有效面积 | 最大刻蚀深度(硅/石英) | 柱直径 | 型号 |
125nm | φ90mm | 90nm/60nm | 50~70nm | P125S_D90 |
140nm | φ80mm | 75nm/ — | 50~75nm | P140S_D80 |
150nm | φ90mm | 75nm/ — | 60~85nm | P150S_D90 |
250nm | φ94mm | 200nm/100nm | 110~130nm | P250S_D90 |
280nm | Φ80mm | 200nm/100nm | 120~150nm | P280S_D80 |
300nm | φ94mm | 200nm/100nm | 120~160nm | P300S_D100 |
380nm | φ94mm | 400nm/300nm | 160~220nm | P380S_D100 |
400nm | φ94mm | 300nm/100nm | 150~220nm | P400S_D100 |
480nm | φ94mm | 500nm/400nm | 200~270nm | P480S_D100 |
500nm | φ94mm | 400nm/150nm | 200~250nm | P500S_D100 |
560nm | Φ80mm | 400nm/150nm | 200~280nm | P560S_D80 |
600nm | φ94mm | 500nm/250nm | 200~300nm | P600S_D100 |
760nm | φ94mm | 700nm/600nm | 330~430nm | P760S_D100 |
800nm | φ94mm | 500nm/300nm | 200~400nm | P800S_D100 |
周期 | 有效面积 | 最大刻蚀深度(硅) | 柱直径 | 型号 |
125nm | 10x10 mm² | 95 nm | 54 nm | P125S_10x10 |
125nm | 20x20 mm² | 95 nm | 74 nm | P125S_20x20 |
150nm | 20x20 mm² | 135 nm | 62 nm | P150S_20x20 |
150nm | 5x5 mm² | 110 nm | 80 nm | P150S_5x5 |
250nm | 20x20 mm² | 200 nm | 115 nm | P250S_20x20 |
300nm | 14x14 mm² | 170 nm | 145 nm | P300S_D100 |
550nm | 20x20 mm² | 150nm/300nm | 300 nm | P380S_D100 |
800nm | 20x20 mm² | 250 nm | 440 nm | P400S_D100 |
特点和优势:
高分辨率:我们的纳米压印模板具有出色的分辨率能力,可以在纳米尺度上实现复杂的图案。这种高分辨率的特性使得它成为研究纳米尺度现象和制造纳米器件的理想选择。
高精度:我们的模板制造过程采用先进的纳米加工技术,确保了高度一致性和精度。这种高精度保证了每个模板都能提供可靠且重复性的图案转移效果。
多功能性:我们的纳米压印模板可用于各种应用领域。它可以用于制造纳米电子器件,如纳米晶体管和纳米线路。它还可用于光电子器件的制造,如纳米光栅和光子晶体。此外,它在生物医学领域的应用也非常广泛,例如制造生物芯片和纳米传感器。
高效性:我们的纳米压印模板制造过程高效且可扩展。它可以批量生产,适用于大规模制造需求。这种高效性使得我们的产品成为工业界和学术界研究的首选。
定制化:我们可以根据客户的需求提供定制化的纳米压印模板。无论是特定的图案设计还是特殊的材料要求,我们的团队都可以为您量身定制最佳解决方案。
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