Приложения
Научное руководство: Введение, принципы и сценарии применения тонкопленочных окон из нитрида кремния
Научное руководство: Введение, свойства и сценарии применения окон из тонкой пленки нитрида кремния Окна из тонкой пленки нитрида кремния
