Приложения
Получение тонких пленок нитрида титана (TIN) методом ALD
ALD-процесс для получения тонких пленок нитрида титана (TiN) методом атомно-слоевого осаждения (ALD)
Результаты поиска
Результаты поиска
ALD-процесс для получения тонких пленок нитрида титана (TiN) методом атомно-слоевого осаждения (ALD)
