Harbor Semiconductor

Меню

Процесс нанесения покрытия электронно-лучевым испарением (EB-PVD) и его преимущества

Электронно-лучевое испарение - это технология нанесения покрытий на поверхность, основанная на использовании электронно-лучевого источника тепла и относящаяся кФизическое осаждение из паровой фазыПринцип работы прост и эффективен. В этом процессе высокоэнергетический электронный пучок фокусируется на поверхности испаряемого материала, который локально нагревается за счет передачи энергии, что приводит к его испарению в газообразное состояние. Затем газообразный материал осаждается на целевую подложку в вакуумной среде, образуя тонкую пленку. Этот процесс хорошо поддается контролю и воспроизведению, что позволяет точно настроить толщину, состав и структуру пленки.

Компоненты оборудования для технологии EB-PVD

Принцип нанесения покрытий электронно-лучевым испарением основан на передаче энергии и испарении материала электронным лучом. В этом процессе материал нагревается до достаточно высокой температуры с помощью источника тепла в виде электронного пучка, что позволяет ему перейти из твердого состояния в газообразное, а затем осаждается на целевой подложке, образуя тонкую пленку.

Вакуумная система: состоит из вакуумной камеры, вакуумных насосов и соответствующих трубопроводов, обеспечивающих проведение процесса осаждения в условиях высокого вакуума, обычно в диапазоне от 10^-5 до 10^-7 торр.

Источник электронного пучка: генерирует высокоэнергетический электронный пучок, который фокусируется и сканируется системой электромагнитных линз, контролирующих энергию и положение пучка.

Мишень: материал, обычно металл, сплав или соединение, который нагревается и испаряется под действием электронного луча.

Стол для подложки: используется для удержания и нагрева подложки, которую можно поворачивать или наклонять для улучшения однородности пленки.

Система управления: включает управление мощностью электронного пучка, управление нагревом подложки и управление вакуумной системой.

Этапы технологического процесса для технологии EB-PVD

  • Очистка субстрата
  • Загрузочная подложка
  • Предварительная эвакуация
  • Высоковакуумная откачка
  • Нагрев электронным лучом
  • Целевое испарение
  • передача пара
  • Формирование фильма
  • Контроль толщины
  • Контроль скорости осаждения
  • Охлаждающие подложки
  • Удалите подложку

Преимущества технологии EB-PVD

Высокая скорость осаждения

  • Высокая эффективность: высокая плотность энергии электронного пучка и быстрое испарение мишени позволяют достичь высокой скорости осаждения, что подходит для осаждения больших площадей и толстых пленок.

Пленка высокой чистоты

  • Вакуумная среда: Осаждение проводится в условиях высокого вакуума, что позволяет эффективно уменьшить количество примесей и загрязнений и обеспечить высокую чистоту пленки.
  • Чистый источник материала: Использование высокочистых мишеней еще больше повышает чистоту и качество пленки.

Точное управление

  • Толщина и состав: регулируя мощность электронного луча, скорость сканирования и температуру подложки, можно точно контролировать толщину и состав пленки.
  • Равномерность: технология электронно-лучевого сканирования обеспечивает равномерное осаждение на поверхности подложки, гарантируя постоянную толщину пленки.

Подходит для широкого спектра материалов

  • Универсальные цели: технология EB-PVD позволяет обрабатывать широкий спектр материалов, включая металлы, сплавы, оксиды, карбиды и нитриды, и отличается высокой адаптивностью.
  • Композиты: Осаждение композитов может быть достигнуто совместным испарением или испарением из нескольких источников для получения тонких пленок со специальными свойствами.

Высококачественная пленка

  • Высокая плотность: осажденная пленка имеет плотную, непористую структуру с превосходными механическими свойствами и долговечностью.
  • Сильная адгезия: сильная адгезия между пленкой и подложкой для работы в условиях высоких нагрузок и высоких температур.

Возможность высокотемпературного осаждения

  • Стойкость к высоким температурам: EB-PVD способна осаждаться в условиях высоких температур и подходит для производства термостойких материалов, таких как термобарьерные покрытия (TBC).
  • Высокотемпературная стабильность: осажденная пленка обладает хорошей стабильностью при высоких температурах, не окисляется и не разлагается.

низкий урон

  • Защита подложки: поскольку нагрев электронным лучом в основном сосредоточен на материале мишени, тепловое воздействие на подложку невелико, и она подходит для тонкопленочного осаждения термочувствительных материалов.

Гибкость процесса

  • Регулируемые параметры процесса: мощность электронного луча, режим сканирования, температура подложки и другие параметры процесса могут быть настроены в соответствии с различными требованиями.
  • Универсальное применение: многослойное и градиентное нанесение пленки может быть реализовано для удовлетворения различных функциональных и эксплуатационных требований.

Экологические и экономические

  • Экологически чистый: Высокий вакуум снижает использование и выброс вредных газов и является относительно экологически чистым.
  • Экономическая эффективность: хотя первоначальные инвестиции в оборудование высоки, высокая эффективность и качество процесса осаждения снижают долгосрочные затраты на его использование.

Испаряемые материалы

Алюминий (Al), медь (Cu), титан (Ti), никель (Ni), хром (Cr), золото (Au), серебро (Ag), вольфрам (W), оксид индия-олова (ITO), оксид титана (TiO2), оксид алюминия (Al2O3), оксид цинка (ZnO), оксид гафния (HfO2), карбид титана (TiC), карбид кремния (SiC), нитрид титана (TiN), нитрид кремния (Si3N4), нитрид алюминия (AlN), борид титана (TiB2), силицид титана (TiSi2), углерод (C) и так далее. Si3N4), нитрид алюминия (AlN), борид титана (TiB2), силицид титана (TiSi2), углерод (C) и так далее.

Мы предлагаем Осаждение электронно-лучевым испарением (EB-PVD) Услуги по OEM-заказуне стесняйтесь оставлять комментарии.

Сопутствующие товары
Связанное чтение

Подробнее...

Прокрутка к началу

Отсканируйте код, чтобы добавить службу поддержки корпоративных клиентов WeChat: Tom

Отсканируйте код, чтобы добавить службу поддержки корпоративных клиентов WeChat: Tom