Влияние процесса отжига на стойкость платины
В области высокоточных измерений температуры тонкопленочные платиновые резисторы постепенно вытесняют традиционные платиновые резисторы с проволочной намоткой благодаря своей высокой стабильности и точности. Процесс отжига является ключевым этапом в оптимизации характеристик тонкопленочных платиновых резисторов, и термическое сопротивление тонких платиновых пленок может быть значительно улучшено за счет разумного процесса отжига.
Подготовка платиновых резисторов
Процесс подготовки платинового резистора обычно состоит из следующих этапов:
- подготовка подложки
- Фотолитография
- осаждение магнетронным распылением
- переработка
- нагреваться(отжиг (металлургия))иметь дело с
Влияние процесса отжига
термическая стабильность
- Отжиг повышает термическую стабильность пленки, делая ее более устойчивой в высокотемпературных средах.
- Высокотемпературный отжиг снимает напряжение с пленки и предотвращает структурную деформацию при изменении температуры.
- Повышает надежность и срок службы датчиков в условиях высоких температур.
теплопроводность
- В процессе отжига рост зерен и улучшение качества кристаллов повышают теплопроводность пленки.
- Пленки с крупными зернами и высокой степенью кристалличности обладают лучшей теплопроводностью и меньшим термическим сопротивлением.
- Повышение скорости реакции и точности датчика, чтобы он мог быстрее отражать изменения температуры.
Температурный коэффициент сопротивления (TCR)
- Отжиг увеличивает температурный коэффициент сопротивления (TCR) платиновой пленки, делая значение сопротивления более чувствительным к изменениям температуры.
- Высокое значение TCR позволяет повысить чувствительность датчика к изменениям температуры.
- Повышение чувствительности и точности датчика позволяет ему более точно измерять изменения температуры.
Стабильность сопротивления
- Отжиг уменьшает дефекты и неоднородности в пленке и снижает дрейф сопротивления.
- Структура отожженной пленки более стабильна, а значение сопротивления более стабильно.
- Повышает стабильность и надежность датчиков в течение длительных периодов времени и снижает требования к техническому обслуживанию.
Как улучшить процесс отжига
Процесс отжига значительно улучшает микроструктуру и характеристики термостойкости платиновых пленок за счет нагрева и выдержки.
- Влияние температуры отжига на свойства: Между 500 и 600°C, чем выше температура отжига, тем выше чувствительность и лучше линейность, которая может быть отрегулирована в зависимости от реальных условий применения.
- Влияние времени выдержки: При температуре 500°C 60-минутное время выдержки может значительно улучшить чувствительность и линейность. Однако увеличение времени выдержки при температуре выше 500°C приводит к снижению производительности.
- Влияние шероховатости подложки: Повышение шероховатости подложки (например, 230 нм) может значительно улучшить чувствительность, но должно быть в разумных пределах, чтобы не нарушить целостность пленки.
Если у вас возникли вопросы или вам нужна дополнительная информация о процессе отжига при платинировании, пожалуйста, обращайтесь к нам. Мы стремимся предоставить нашим клиентам высококачественные и высокоэффективные решения.
Мы предлагаем Услуги по настройке литейного производства с магнетронным напылениемне стесняйтесь оставлять комментарии.
Сопутствующие товары
Связанное чтение
Каковы свойства и области применения пленок диоксида кремния, нанесенных методом электронно-лучевого испарения?
Каковы свойства и области применения пленок диоксида кремния, полученных методом электронно-лучевого испарения? Диоксид
Зарождение и рост тонких пленок
Зарождение и рост тонких пленок Зарождение и рост тонких пленок - центральный этап в технологии нанесения покрытий.
Как правильно выбрать тонкопленочное окно из нитрида кремния丨Научное руководство
С помощью этого руководства вы сможете принимать обоснованные решения для оптимизации процесса получения изображений с помощью ТЭМ, анализа РЭМ, исследований в области бионаук или производства полупроводников.
