Harbor Semiconductor

Меню

Влияние процесса отжига на стойкость платины

В области высокоточных измерений температуры тонкопленочные платиновые резисторы постепенно вытесняют традиционные платиновые резисторы с проволочной намоткой благодаря своей высокой стабильности и точности. Процесс отжига является ключевым этапом в оптимизации характеристик тонкопленочных платиновых резисторов, и термическое сопротивление тонких платиновых пленок может быть значительно улучшено за счет разумного процесса отжига.

Подготовка платиновых резисторов

Процесс подготовки платинового резистора обычно состоит из следующих этапов:

Влияние процесса отжига

термическая стабильность

  • Отжиг повышает термическую стабильность пленки, делая ее более устойчивой в высокотемпературных средах.
  • Высокотемпературный отжиг снимает напряжение с пленки и предотвращает структурную деформацию при изменении температуры.
  • Повышает надежность и срок службы датчиков в условиях высоких температур.

теплопроводность

  • В процессе отжига рост зерен и улучшение качества кристаллов повышают теплопроводность пленки.
  • Пленки с крупными зернами и высокой степенью кристалличности обладают лучшей теплопроводностью и меньшим термическим сопротивлением.
  • Повышение скорости реакции и точности датчика, чтобы он мог быстрее отражать изменения температуры.

Температурный коэффициент сопротивления (TCR)

  • Отжиг увеличивает температурный коэффициент сопротивления (TCR) платиновой пленки, делая значение сопротивления более чувствительным к изменениям температуры.
  • Высокое значение TCR позволяет повысить чувствительность датчика к изменениям температуры.
  • Повышение чувствительности и точности датчика позволяет ему более точно измерять изменения температуры.

Стабильность сопротивления

  • Отжиг уменьшает дефекты и неоднородности в пленке и снижает дрейф сопротивления.
  • Структура отожженной пленки более стабильна, а значение сопротивления более стабильно.
  • Повышает стабильность и надежность датчиков в течение длительных периодов времени и снижает требования к техническому обслуживанию.

Как улучшить процесс отжига

Процесс отжига значительно улучшает микроструктуру и характеристики термостойкости платиновых пленок за счет нагрева и выдержки.

  • Влияние температуры отжига на свойства: Между 500 и 600°C, чем выше температура отжига, тем выше чувствительность и лучше линейность, которая может быть отрегулирована в зависимости от реальных условий применения.
  • Влияние времени выдержки: При температуре 500°C 60-минутное время выдержки может значительно улучшить чувствительность и линейность. Однако увеличение времени выдержки при температуре выше 500°C приводит к снижению производительности.
  • Влияние шероховатости подложки: Повышение шероховатости подложки (например, 230 нм) может значительно улучшить чувствительность, но должно быть в разумных пределах, чтобы не нарушить целостность пленки.

Если у вас возникли вопросы или вам нужна дополнительная информация о процессе отжига при платинировании, пожалуйста, обращайтесь к нам. Мы стремимся предоставить нашим клиентам высококачественные и высокоэффективные решения.

Мы предлагаем Услуги по настройке литейного производства с магнетронным напылениемне стесняйтесь оставлять комментарии.

Сопутствующие товары
Связанное чтение

Ключевая роль тонкопленочных окон из нитрида кремния в производстве и анализе полупроводников

Тонкопленочные окна из нитрида кремния стали важной частью полупроводниковой промышленности благодаря своим уникальным свойствам. Тонкопленочные окна из нитрида кремния имеют широкий спектр применения, от производства до анализа, и играют ключевую роль в разработке новых полупроводниковых приборов и материалов.

Читать далее "

Подробнее...

Прокрутка к началу

Отсканируйте код, чтобы добавить службу поддержки корпоративных клиентов WeChat: Tom

Отсканируйте код, чтобы добавить службу поддержки корпоративных клиентов WeChat: Tom